產品介紹

NEMST-2002IL 系列

連續式電漿清洗機(Fully In-line)

連續式電漿清洗機(Fully In-line)
連續式電漿清洗機(Fully In-line)
  • 與前站及後站之機台完全自動化連線，達成100%全自動化之生產。
  • 採用高頻的 RF 電漿電源供應器，並利用獨特的電漿電極設計，以產生高密度的電漿。
  • 使用氬氣(Ar)或氧氣(O2)等氣體來作為電漿之反應氣體。
  • 每循環(cycle)可處理1至2條基板，時間約為30秒。
  • 採用簡易之操作介面，以達安全穩定的生產。
  • 為In-line製程，100%自動化設備，可減少人力並達成全線生產自動化的目標。
  • 單片或雙片之電漿處理，可達高度清潔效果與均勻性。
  • PC BASE 可搭配客製化軟體需求。
  • 可與生產監視系統或SECS/GEM等生產控制系統進行連線。
  • 適用於 IC 封裝或 LED 封裝於固晶、打線或封膠前的基板清潔。
  • 適用於各項表面黏著製程(SMT)前之表面清潔與改質。
  • 適用的產品廣泛，如各式 Flip-Chip、BGA 或 Lead Frame產品，例如 PBGA, TFBGA (Film-BGA), Window-BGA、 Mini-BGA、Micro-BGA、LFBGA, VBGA (EBGA), Pin BGA, TCP, PCB, COB, MMC、SD、Micro-SD、QFN/MLP, Cu L/F, Ag。